荷兰ASML将向中国大陆一家芯片制造商供应EUV光刻机 (荷兰asml发展史)

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　　中国（*）芯片制造产业当前面临多个技术难点，其中之一就是，中国几家主要芯片制造商今后都必须在自家晶圆工厂中安装高端EUV光刻机（极紫外光刻机），方能生产出更高端芯片。然而，现在，在全球，仅有荷兰ASML（阿斯麦）能够为所有芯片制造商研制EUV光刻机。　　此前，台媒《天下*》记者曾经专访过ASML执行长皮特·瓦希德（PeterWennink）。并且，皮特·瓦希德回答了记者这么两个问题。　　记者向皮特·瓦希德所提问题之一是：“ASML出自飞利浦，而当年的飞利浦是有名的高度垂直整合，样样自己做，你们为何会走出*式创新的研究模式？”皮特·瓦希德向记者给出答案，简单来说就是：年，荷兰飞利浦当时面临经营困境，不得已在集团内部实施大规模裁员方案。ASML也是在那一年从飞利浦*了出来。起初，ASML其实非常缺乏技术研究经费，而飞利浦本就自顾不暇，没有能力向ASML提供技术研究经费。ASML要在恶劣市场环境里生存下来，就想到一个好办法，那就是ASML在欧洲甚至全球范围内，主动去找到更多组织机构并与之建立合作关系，从而为自身构建起一个大型技术研究网络。皮特·瓦希德向记者说道：“我们去找政府争取经费，还去找供应商，告诉他们我们的构想是什么，并问他们和我们在技术研究上展开合作好吗？我们一同分享利润。我们因此打造一个很大的研究网络。”

　　记者向皮特·瓦希德所提问题之二是：“飞利浦虽然已解体，但却孕育出ASML，请问荷兰是怎么做到的，可以给面临后PC时代的*一些建议吗？”皮特·瓦希德向记者说出这样一句话：“当初飞利浦样样都干，最后还是解体了，这证明大型企业巨人的时代已经不合适宜了。未来的主流该是企业、研究机构分工的*式创新。”按皮特·瓦希德所持一大看法，一个国家科技产业是否强大，最终能发展到何等强大程度，首先得看这个国家当局肯在基础科研方面投入多大资源。而一家科技公司要想在区域或者全球市场中取得辉煌成功，除了要和一流人才一路同行外，还应该坚持在某个行业专注技术研究和创新。　　言归正传，日前，台媒《电子时报》记者首次专访了ASML中国区总裁金泳璇（Young-SunKim）。金泳璇向记者表示：一方面，中国半导体生产设备市场规模将在未来几年迎来大发展，-年更是有望呈现跳跃式增长，ASML也将深耕中国市场，还将和中国某些科研机构在技术研究方面开展深度合作。另一方面，ASML对全球各大芯片制造商皆“一视同仁”，只要有一家中国芯片制造商向ASML成功下单EUV光刻机，ASML就能够为这家中国芯片制造商生产出1台甚至多台EUV光刻机。况且，现在已经有家中国芯片制造巨头在和ASML洽谈首台EUV光刻机订单（7nm制程工艺）。“如果最终订单确认，最快预期年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待”。

下文为金泳璇和《电子时报》记者对话原文。　　问：针对国内市场、客户，各方现在传出许多声音，听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机“有钱难买EUV”？请问受到产量的*，还是相传受到国际条约的外在制约？　　答：首先，我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户的要求，从ASML而言都是一视同仁的，只要是确认订单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。由于EUV零组件多达5万多个部件，从客户下单到正式交货，交期约个月，这个情况，对每个客户都是完全一致的。　　事实上，国内客户已进入7纳米工艺制程技术研究阶段，并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认，最快预期年EUV会首次移入中国晶圆厂，我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机，抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用，其他客户也会快速跟进。

　　问：EUV似乎是连续进步摩尔定律、延续未来纳米工艺往下延伸的关键，未来进一步规划与ASML对摩尔定律的看法？　　答：毫无疑问摩尔定律会继续下去，但每一制程技术节点之间的时间会延长，技术与资本门槛变得更高。浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段，成本已然超过EUV，生产交期更长、技术更为复杂，从量产的性价比角度，EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。现在EUV光源已经可达watt，达到每小时量产片吋晶圆，下一阶段5纳米技术节点以下High-NAEUV已经在布局研究。

ASML光刻机工作原理简图。问：现在中国市场业务布局与销售情况如何？年全年长大幅度与年的增长率预估？答：全球半导体行业版图位移，不仅本地晶圆厂，包括国际晶圆厂也在增加中国投资，ASML预期，中国光刻机市场规模具亿欧元潜力。总体而言，现在ASML在中国市场的装机量累积已达约台，年可望续增超过台的装机量。不仅一线大客户，还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达多家客户。从销售额轨迹来看，中国市场销售额在-年维持持平，年微幅长大至6亿欧元，年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元，因此今年将较去年将有显著增长。由于中国晶圆厂-年连续投入资本扩充产能，ASML年销售很可能创下中国区销售新高的纪录，而年也会连续呈现更显著的跳跃式增长。　　ASML一直秉持“客户在哪里就走到哪里”，现在在中国已经各地设立个销售与服务据点包括新成立的南京分公司，明年初可能在成都设立分公司进一步深化服务当地客户。　　为了强化*与中国客户深度合作关系，ASML也不断壮大营运团队，总部于上海、北京与深圳设立研究中心，全中国员工近名，今、明两年会连续扩大团队，吸纳优秀人才，并与科研机构展开深度研究合作与人才培训。　　对于中国客户来说，单纯只添购设备、运用设备已经不够以满足其需要，提供深度而全方位地光刻搞定方案(Holisticlithographysolution)与客户携手开展强化微缩技术与优化良率的制程调控，才能符合中国客户的深度需要。